常州无尘车间装修如何建造百级芯片无尘车间?
芯片制造属于光电半导体行业,有专门的芯片无尘车间厂房,其生产车间需要达到百级无尘车间。
制造芯片有多难?
制作芯片的生产线非常复杂,大约涉及50个行业.2000-5000个工序;以OEM为例,需要先将“砂子”净化成硅,切成晶元,然后加工晶元;晶元加工厂包括前后两个工艺,前工艺分为几个模块-光刻.薄膜.刻蚀.清洗.注入后道工艺主要装-互联.打线.密封;光刻是制造和设计的纽带;许多工艺都是在独立的工厂进行的,设备也需要由专门的设备工厂制造;使用的材料包括数百种特殊气体.液体.目标材料需要特殊的化工行业;此外,超净无尘车间生产集成电路,因此还需要排气和空气净化系统。
常州无尘车间装修芯片无尘车间
芯片厂对生产环境的空气清洁度非常挑剔。即使是一小粒灰尘,粘在芯片上也可能导致短路,直接影响产量;粉尘的危害仍然如此,更不用说空气中的化学污染了;因此,芯片生产一般在无尘室进行,芯片无尘车间的清洁度必须达到100级。
常州无尘车间装修百级洁净无尘车间标准:
大于等于0.5μm大于350粒/m3(0.35粒/L)小于或等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm尘粒数为0;
微生物最大允许数:浮游菌每立方米不得超过5个;
温度:22℃±2;
湿度:55%±5;
基本上需要满布FFU,做高架地板;
做MAU+FFU+DC系统还保持正压,相邻房间的压力梯度保证在10pa左右;
如果百级无尘车间必须用通风次数来衡量,200次/h以上;
如果百级无尘车间以层流风速>0.35m/s;
若以百级无尘车间HEPA天花板覆盖率高效空气过滤器>50%。